Requisitos del sistema de refrigeración de semiconductores y soluciones de refrigeración de precisión
Un sistema de refrigeración de semiconductores fiable es esencial para mantener la estabilidad del proceso y la precisión de la producción en entornos de fabricación de semiconductores.. A medida que la tecnología de fabricación de chips avanza hacia nodos de proceso más pequeños, La precisión del control de temperatura se ha vuelto cada vez más crítica.. Incluso las fluctuaciones menores de temperatura pueden afectar negativamente al procesamiento de obleas., exactitud de la litografía, y confiabilidad del equipo. Por lo tanto, Se requieren sistemas avanzados de refrigeración de semiconductores. …
